Hệ thống đo giao thoa kế laser

Ứng dụng: hiệu chuẩn các loại máy đo chính xác VMM, CMM, máy CNC, Máy ULM, vv…

1. Độ chính xác cao của phép đo: Độ phân giải lên đến kích thước nano dựa trên công nghệ đo giao thoa kế laser; Với bộ bù sai số môi trường có độ chính xác cao, các ảnh hưởng đến kết quả đo từ nhiệt độ môi trường, áp suất, độ ẩm và nhiệt độ vật liệu được loại bỏ;

Nó có thể đảm bảo độ ổn định tần số lâu dài của laser bằng cách sử dụng hệ thống điều khiển ổn định tần số nhiệt laser;

Thiết kế tách giao thoa kế khỏi máy chủ tránh biến dạng nhiệt của giao thoa kế, đảm bảo sự ổn định của đường quang giao thoa.

2. Nó có thể đo tuyến tính, góc, độ thẳng, độ vuông góc và các thông số hình học khác;

Nó có thể đo độ chính xác định vị tuyến tính và độ chính xác định vị lặp lại của đường ray dẫn hướng cho máy công cụ CNC, máy đo tọa độ và các thiết bị chuyển động chính xác khác;

Nó có thể đo góc nghiêng, góc xoay, độ vuông góc và độ thẳng của ray dẫn hướng, ngoài ra nó còn có thể hiệu chỉnh trục quay của máy công cụ.

3.  Có thể tùy chỉnh các cài đặt bù của người dùng, hệ thống sẽ tự động tạo bảng bù lỗi để hiệu chuẩn máy công cụ.

4. Với các chức năng đo động (đường cong thời gian dịch chuyển, đường cong vận tốc-thời gian, đường cong thời gian tăng tốc), đo biên độ và phân tích tần số, nó có thể phân tích kiểm tra độ rung của máy công cụ, đặc tính động của vít bi, đặc tính đáp ứng của hệ thống truyền động, đặc tính động của đường ray dẫn hướng, v.v.

5. Các tiêu chuẩn trong nước và quốc tế tích hợp, chẳng hạn như GB, ISO, BS, ANSI, DIN, JIS, v.v. Hệ thống phân tích và xử lý dữ liệu theo tiêu chuẩn có liên quan, cuối cùng tạo ra các báo cáo thử nghiệm bao gồm các biểu đồ và dữ liệu khắc tương ứng.

6. Có thể tự động thu được các thông số về nhiệt độ môi trường, nhiệt độ vật liệu, độ ẩm môi trường và áp suất khí quyển. Có thể cài đặt bù trừ môi trường bằng tay, hoặc bằng hệ thống tự động.

7. Với cơ sở dữ liệu quản lý hồ sơ đo lường tập trung, người dùng có thể truy vấn và quản lý hồ sơ đo lường theo loại đối tượng, cơ quan kiểm định, số hiệu sản xuất, đơn vị kiểm định, cơ quan đã nộp, số thiết bị, ngày kiểm định và ngày có hiệu lực; Có thể xuất dữ liệu ra file Word, Excel, AutoCAD (tùy chọn).

8. Dễ dàng lắp đặt: Trọng lượng cơ bản 15kg, tiện lợi và di động.

——————–

Thông số kỹ thuật:

Hệ thống tham số toán học:
1. Phương pháp đo: single frequency
2. Độ chính xác của tần số laser: 0,05ppm
3. Tốc độ chụp động: 50kHz
4. Thời gian khởi động: khoảng 6 phút
5. Nhiệt độ hoạt động: (0-40)℃
6. Nhiệt độ môi trường: (0-40)℃, độ ẩm: 0-95%
7. Nhiệt độ bảo quản: -20℃-70℃

Cảm biến môi trường:
1. Cảm biến nhiệt độ khí quyển: ±0.1℃ (0-40)℃, độ phân giải: 0.01℃
2. Cảm biến nhiệt độ vật liệu: ±0.1℃ (0-40)℃, độ phân giải: 0.01℃
3. Cảm biến độ ẩm khí quyển: ±5% (0-95%)
4. Cảm biến áp suất khí quyển: ±0.1kPa (65～115)kPa

Đo lường tuyến tính:
1. Dải đo: (0-80)m
2. Độ chính xác của phép đo: 0,5ppm (0-40)℃
3. Độ phân giải đo: 1nm
4. Tốc độ đo tối đa: 4m/s

Đo góc:
1. Phạm vi trục: (0-15)m
2. Dải đo: ±10°
3. Độ chính xác: ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ (R là giá trị biểu thị, đơn vị: ″; M là chiều dài được đo bằng m)
4. Độ phân giải đo: 0,1″

Đo độ phẳng:
1. Phạm vi trục: (0-15) m
2. Phạm vi đo độ phẳng: ±1,5 mm
3. Độ chính xác: ±(0,2%R+0,02M2) μm (R là giá trị biểu thị tính bằng μm; M là chiều dài đo được tính bằng m)
4. Kích thước đế: Điều chỉnh 180mm, điều chỉnh 360mm
5. Độ phân giải đo: 0,1μm

Đo độ thẳng:
Mục Phạm vi trục Phạm vi đo Độ chính xác Độ phân giải
Độ thẳng ngắn (0,1-4)m ±3,0mm ±(0,5+0,25%R+0,15M2)μm 0,01μm
Độ thẳng dài (1-20)m ±3.0mm ±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm 0.1μm
Lưu ý: R đang biểu thị giá trị tính bằng μm; M là chiều dài đo bằng mét

Phép đo vuông góc:
Mục Phạm vi trục Phạm vi đo Độ chính xác Độ phân giải
Độ thẳng ngắn (0,1-3)m ±3,0mm ±(2,5+0,25%R+0,8M)μm/m 0,01μm
Độ thẳng dài (1-15)m ±3.0mm ±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m 0.01μm
Lưu ý: R đang biểu thị giá trị tính bằng μm; M là chiều dài đo bằng mét

Đo trục quay:
1. Phạm vi đo góc: 0-360°
2. Tốc độ quay trục tối đa: 10rpm
3. Độ chính xác cao độ của bàn xoay chính xác: ±1″
4. Độ phân giải: 0,1″